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高精度芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備——光刻機(jī)，是半導(dǎo)體行業(yè)的重中之重，而光刻膠作為光刻機(jī)制造芯片時(shí)的關(guān)鍵材料，其地位更是舉足輕重的。光刻膠能否國(guó)產(chǎn)化生產(chǎn)，關(guān)系到中國(guó)近萬(wàn)億半導(dǎo)體市場(chǎng)的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。早在2014年中國(guó)成立集成電路投資基金，截止到去年年底總共籌備了3387億，主要用于對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)芯片制造、設(shè)備研發(fā)等領(lǐng)域的投資。而在投資的行業(yè)當(dāng)中，對(duì)光刻膠研發(fā)企業(yè)的扶持也在其中。中國(guó)想要打造完善的半導(dǎo)體生態(tài)鏈，對(duì)芯片以及光刻機(jī)的研發(fā)自然重要，而光刻膠也不能落下。

出品｜國(guó)器

中國(guó)自主生產(chǎn)芯片制造的核心材料——光刻膠其國(guó)產(chǎn)化迫在眉睫

作為光刻機(jī)制造芯片所用的核心材料，光刻膠的全球市場(chǎng)份額基本被美日韓三國(guó)占據(jù)，而這樣的局面一直沒(méi)有被打破，光刻膠生產(chǎn)技術(shù)更是各國(guó)難以觸及的高度。中國(guó)想要半導(dǎo)體各行業(yè)齊頭并進(jìn)，光刻膠這種尖端材料必須拿下來(lái)。光刻膠是一種多種成分組成的敏感感光液體，主要用于制造芯片硅板上電路的印刻。而在這個(gè)過(guò)程中，光刻膠的質(zhì)量是影響最終芯片性能以及成品率的重要材料，這也是我國(guó)為何要高價(jià)從國(guó)外進(jìn)口高質(zhì)量光刻膠的原因。因此中國(guó)國(guó)產(chǎn)高質(zhì)量光刻膠是迫在眉睫的。

隨著我國(guó)投資力度的加大高質(zhì)量光刻膠行業(yè)已經(jīng)有了重大突破

目前我國(guó)正在處于芯片以及光刻機(jī)的攻關(guān)當(dāng)中，目標(biāo)是在今年年底之前，實(shí)現(xiàn)32納米以上的光刻機(jī)自主生產(chǎn)、2025年前14納米以上光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)30%的國(guó)產(chǎn)率，同樣在該年我國(guó)芯片要達(dá)到70%的自給率。近幾年來(lái)我國(guó)也加大了在光刻膠領(lǐng)域的投資力度，承接光刻膠研發(fā)任務(wù)的企業(yè)也在各地開(kāi)花。蘇州瑞紅公司首先將第二代光刻膠實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，標(biāo)志著02專(zhuān)項(xiàng)國(guó)家重點(diǎn)科技項(xiàng)目的突破。南大光電研發(fā)第四代光刻機(jī)的ArF光刻膠，是我國(guó)在芯片制造材料的重大突破，打破了此前我國(guó)高質(zhì)量光刻膠缺乏的局面。

中國(guó)在半導(dǎo)體領(lǐng)域已經(jīng)具備了整整四代光刻膠量產(chǎn)的實(shí)力

最為引人注目的是，北京科華遞交的極紫外光刻機(jī)的光刻膠研發(fā)項(xiàng)目已經(jīng)通過(guò)驗(yàn)收。目前除了第五代光刻機(jī)——EUV極紫外光刻機(jī)的光刻膠尚未實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)外，我國(guó)光刻膠目前大部分具備國(guó)產(chǎn)自足的能力。而光刻膠不只僅存在于半導(dǎo)體行業(yè)，其種類(lèi)也有著差別。除了光刻機(jī)光刻膠外，還有著LCD光刻膠、PCB光刻膠等等。如今我國(guó)在半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了第一代、第二代量產(chǎn)，第三代初步量產(chǎn)、第四代光刻膠已經(jīng)攻克正處于認(rèn)證階段，一旦認(rèn)證完成便可以投入量產(chǎn)實(shí)用。

隨著光刻膠替代計(jì)劃的開(kāi)啟我國(guó)半導(dǎo)體生態(tài)行業(yè)也應(yīng)該齊頭并進(jìn)

隨著光刻膠替代計(jì)劃的全面開(kāi)啟，這種被國(guó)外壟斷的高端材料，我國(guó)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了由光刻膠進(jìn)口、光刻膠國(guó)產(chǎn)研發(fā)到光刻膠量產(chǎn)的突破。并且國(guó)產(chǎn)光刻膠的企業(yè)已經(jīng)接到了長(zhǎng)江存儲(chǔ)、中芯國(guó)際等龍頭芯片企業(yè)的訂單，這無(wú)疑給半導(dǎo)體行業(yè)部件的研發(fā)注入了一支強(qiáng)心劑，起到了推波助瀾的作用。整個(gè)半導(dǎo)體芯片行業(yè)的齊頭并進(jìn)，一頭都不落下，芯片設(shè)備的研發(fā)到芯片生產(chǎn)材料的跟進(jìn)，才是半導(dǎo)體生態(tài)的完善局面。我們也有理由相信我國(guó)在光刻機(jī)設(shè)備的研發(fā)上，征途漫長(zhǎng)但未來(lái)可期。