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半個世紀(jì)以前中國就有了光刻機(jī),為何現(xiàn)在卻全靠進(jìn)口?
點(diǎn)擊:  作者:記者    來源:“思想火炬”微信公號  發(fā)布時間:2020-04-11 12:28:39

 

半個世紀(jì)以前中國就有了光刻機(jī),現(xiàn)在卻全靠進(jìn)口,原因令人深思。

 

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隨著中國芯片產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展,中國對芯片生產(chǎn)設(shè)備的需求也逐漸提升。從最初的28nm,再到14nm,最后到現(xiàn)在國際流行的7nm工藝,工藝的升級意味著中國需要更先進(jìn)的生產(chǎn)設(shè)備,而其中最關(guān)鍵的設(shè)備無疑是光刻機(jī)。

 

光刻機(jī)也叫做激光雕刻機(jī),是一種專門用來制造微小電子元件的設(shè)備,至于這個“微小”要微小到什么程度呢?就拿當(dāng)今世界上最流行的芯片工藝來說,7nm工藝大概要求大概是人類頭發(fā)絲的萬分之一,可以想象這其中的技術(shù)有多難了。

 

然而,要制造出最先進(jìn)的7nm芯片,就不能沒有光刻機(jī)。近段時間,我國中芯國際與荷蘭ASML公司鬧得很不愉快,原因是中芯國際早在2018年就向荷蘭ASML公司訂購兩臺光刻機(jī),其中包括一臺EUV光刻機(jī),然而,ASML到現(xiàn)在還沒有完成交付。而對于中芯國際公司來說,EUV光刻機(jī)是最急需的設(shè)備,因?yàn)闆]有先進(jìn)的EUV光刻機(jī),中芯國際就沒辦法進(jìn)行下一階段的研發(fā)。

 

 

解決了芯片技術(shù)上的問題,卻解決不了設(shè)備的問題,這是我國半導(dǎo)體行業(yè)的一個“心病”。可能一些小伙伴們就要問了,既然ASML公司不愿意賣給我們,我們?yōu)槭裁醋约涸炷兀恐袊墓饪虣C(jī)也不一定比荷蘭差呀。實(shí)際上,中國在光刻機(jī)上還真就比荷蘭差很多,并且據(jù)專家估算,這中間至少有著15年的差距。

 

前面也說過了,光刻機(jī)是一種高科技產(chǎn)物,要求非常精密,一時間肯定是難以造出來的。而我國實(shí)際上也進(jìn)行過光刻機(jī)的研發(fā),并且這件事要追溯到半個世紀(jì)以前的60年代。當(dāng)時,我國的專家們就已經(jīng)研發(fā)出了65型接觸式光刻機(jī),而當(dāng)時荷蘭ASML公司還要過5年才成立,說來也是諷刺,既然我國當(dāng)時領(lǐng)先了荷蘭ASML五年,如今怎會變得如此落后呢?

 

原來,在80年代,我國光刻機(jī)技術(shù)出現(xiàn)了一次“滑鐵盧”,不知道是科研資金不夠還是“飄了”,我國科研人員甚至一度放棄了光刻機(jī)的研究,并且倡導(dǎo)從國外進(jìn)口。可能當(dāng)時的人沒能考慮到進(jìn)口的弊端,于是自研光刻機(jī)的事就一直被擱置了起來,就連前面20年的研究成果,也都付諸東流了。

 

也許是中國半導(dǎo)體行業(yè)的不景氣,就連最后堅(jiān)守在光刻機(jī)行業(yè)的武漢三廠最終也選擇了轉(zhuǎn)行,并賣起了零食,后來,直到臺灣臺積電公司開發(fā)出了193nm光刻機(jī),國人才終于頓悟,原來直至今日,我國光刻機(jī)還是依靠進(jìn)口。

 

(來源:“思想火炬”微信公號) 

 


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