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光刻機"禁運"危機!!
點擊:4652  作者:記者    來源:半導體圈  發布時間:2020-01-08 11:48:42

 

       為了阻撓中國的技術進步,美國的手越伸越長。

英國路透社6日引述多位不具名消息人士的話報道稱,美國國務卿蓬佩奧親正自游說荷蘭政府,白宮官員還向荷蘭首相分享了一份機密情報報告,展示中國獲得該機器的潛在影響

傳美國將動用國家禁運令,阻止光刻機進入中國。臺媒體稱這個禁令長達3-5年,足可以延緩大陸半導體先進制程2代。

16日,荷蘭半導體設備供應商ASML表示:無論有無美國發放的極紫外光光刻機(EUV)銷售許可證,ASML都希望對華繼續供應半導體設備,并希望2020年增加其產品在中國市場的銷售份額。

但困難的是,在國家力量面前,這樣的承諾恐怕沒什么分量。

路透社的報道還揭露了美國阻止敏感技術流向中國的多重手段。根據現行規定,美國不僅限制本國企業向中國出售高科技產品,還要求第三國企業向中國出售高科技產品時,只要這些產品中美國制造零部件的比重超過貨值的25%,都必須獲得美國的許可。(臺積電14nm以下制程由于多依靠美國技術,就面臨斷供華為的風險。)

而美國商務部對阿斯麥的EUV設備進行檢查后發現,美國零部件的比重并沒有達到25%。由于沒有辦法直接阻止出售,美國政府轉而施壓荷蘭政府考慮安全問題。美國國防部官員多次會晤荷蘭官員,討論此次出售的安全風險。雖然荷蘭商界要求放行該交易,但蓬佩奧20196月訪問荷蘭期間,呼吁呂特親自阻止這一交易。

此前并未報道的高規格做法,表明了白宮對阻止中國獲得制造世界上最快微處理器所需機器的重視程度。兩名知情人士對路透社表示,美國的行動始于2018年,當時荷蘭政府向半導體設備公司阿斯麥(ASML)頒發許可證,允許其向中國客戶出售其最先進的設備。

三名消息人士對路透社表示,在接下來的幾個月里,美國官員研究了是否可以直接阻止出售,并與荷蘭官員進行了至少四輪會談。

據一位知情的前美國政府官員透露,718日,在荷蘭首相馬克·呂特(Mark Rutte)訪問美國期間,美國副國家安全顧問查爾斯·庫伯曼向荷蘭官員提出了這一問題。呂特收到了一份有關中國購買ASML技術可能產生的影響的情報報告。

這些壓力起了作用。在訪問白宮后不久,荷蘭政府決定不再更新ASML的出口許可證,價值1.5億美元的設備仍然沒有發貨。 

此前ASML從未公開披露過中國客戶的身份,但日經(Nikkei)等媒體報道稱,該中國客戶就是中國最大的芯片制造專業公司中芯國際(SMIC)

特朗普政府2018年至2019年展開強大攻勢,企圖阻撓荷蘭阿斯麥(ASML)公司向中國企業出售一臺價值1.5億美元的EUV(極紫外光刻機)。

為此,美國國務卿蓬佩奧親自游說荷蘭政府,白宮官員還向荷蘭首相分享了一份機密情報報告,展示中國獲得該機器的潛在影響

報道稱,美國的游說活動始于2018,此前荷蘭政府向阿斯麥公司發放了向中國客戶出售先進設備的許可。美國政府就此與荷蘭官員至少進行了4輪會談。路透社稱,白宮的施壓活動在2018718日達到了頂點,當時美國副國家安全顧問查爾斯·庫珀曼在荷蘭首相呂特訪美期間向荷蘭官員提出了這個問題。美國的施壓似乎起作用了。報道稱,在訪問白宮后不久,荷蘭政府決定阿斯麥的出口許可證不予續期,該機器至今沒有發貨。

光刻機是制造芯片的核心裝備。在芯片制造過程中,需要用光刻機把電路圖搬運到晶圓片上。隨著集成電路集成度越來越高,對光刻機的要求越來越苛刻,因此,光刻機也被譽為半導體制造業皇冠上的明珠。

 

201911月,《日經亞洲平論》就報道了阿斯麥公司推遲向中方企業交貨的消息,并將此歸因于美國的壓力。報道稱,購買這一設備的中國企業是中芯國際,阿斯麥公司不想讓中國客戶感到不安,因為中國是其增長最快的市場。該公司201816%的銷售額來自美國企業,19%來自中國市場。據荷蘭媒體6日報道,阿斯麥公司拒絕對路透社的報道置評,但確認之前的出口許可已經過期,目前正在等待新的許可。荷蘭外交部發言人表示,荷蘭政府擁有授予雙重用途技術許可的主權裁量權,不會就具體案件發表評論。

中國通信行業專家項立剛6日對《環球時報》記者表示,目前全世界能夠生產這種先進光刻機的,只有荷蘭阿斯麥公司。因此美國政府的阻撓,對中方確實是打擊。但是任何事物都有其兩面性。中國企業并不是完全做不出光刻機,只是從商業原則看,直接購買比自主研發更合算。如果面臨最極端的情況,徹底被美國卡住脖子,我們也有自力更生搞自主研發的能力。

 

去年6月,美國國務卿蓬佩奧訪問荷蘭,一邊炒作中國貿易不公5G安全問題,一邊要求荷蘭等盟友站隊。

他在記者會上說:我們的要求是,我們的盟友、伙伴和朋友不要做任何危及我們共同安全利益,或限制我們分享敏感信息能力的事情。雖然沒有明確提到光刻機,但知情人士稱,蓬佩奧在與荷蘭首相呂特會面中要求阻止這筆交易。后者在記者會上回應,雖然荷蘭想要與盟國保持政策一致,但每個國家都必須做出自己的安全決定

718日,呂特訪問華盛頓,期間白宮副國家安全顧問查爾斯·庫伯曼向他展示一份情報報告,內容是所謂中國獲得光刻機的可能后果

早在630日,ASML的許可證就已到期,通常需要8周時間進行審批及續簽。但呂特訪問過后不久,荷蘭政府決定不再續簽這份許可證。ASML未出現在荷蘭外交部數據庫的續簽名單上。

荷蘭首相府發言人拒絕對此置評,稱政府不會討論單獨的許可證案例。白宮以及庫伯曼也沒有回應置評。

 

116日,日經最先報道了相關交易因許可證問題被推遲發貨的消息,并認為ASML成為美國政府壓力下的犧牲品

公司發言人摩爾斯回應,延遲發貨僅為媒體猜測,已經申請了新的許可證,仍在等待獲批。公司遵守法律。法律說需要許可證才能出口EUV,我們已經申請了許可證。

但不論有沒有EUV光刻機,ASML預計2020年向中國出售其他產品,銷售額會繼續增長。外媒評論,此事顯示白宮對于阻止中國獲得先進芯片制造能力有多么重視,也證明美國政府試圖單方面限制對中國出口先進技術時,面臨著多么大的挑戰。

西方國家限制向中國出口光刻機,是我國境內半導體工藝制程始終比境外落后1-2代甚至3代的主要原因。

去年4月,武漢光電國家研究中心甘棕松團隊,采用二束激光在自研的光刻膠上突破了光束衍射極限的限制,采用遠場光學的辦法,光刻出最小9納米線寬的線段。該樣機實現了材料,軟件和零部件等三個方面的國產化,打破了三維微納光制造的國外技術壟斷。(來源:全球時報,新浪科技)

責任編輯:向太陽
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