中微半導體CEO尹志堯：國產(chǎn)5nm蝕刻機已獲臺積電認可
點擊： 作者：驅(qū)動之家 來源：今日頭條 發(fā)布時間:2019-12-13 11:59:18
根據(jù)臺積電的工藝路線圖，2020年Q3季度就要試產(chǎn)5nm工藝了，這一代工藝會全面應(yīng)用EUV光刻技術(shù)。除了光刻機之外，蝕刻機也是半導體工藝中不可缺少的一步，在這個領(lǐng)域中國半導體裝備公司也取得了可喜的進步，中微半導體的5nm蝕刻機已經(jīng)打入臺積電的供應(yīng)鏈。
日前在首屆臨港新片區(qū)投資論壇上，中微半導體設(shè)備公司董事長兼首席執(zhí)行官尹志堯博士提到了該公司的進展，指出中微半導體正在跟隨臺積電按照摩爾定律的發(fā)展走，后者的3nm工藝已經(jīng)研發(fā)一年多了，預計2021年初就要試產(chǎn)。
尹志堯博士表示中微半導體也在跟著這個路線走，目前已經(jīng)做到了5nm——尹志堯博士創(chuàng)立的中微半導體主要是蝕刻機、MOCVD等設(shè)備，它們與光刻機一并被稱為半導體工藝三大關(guān)鍵設(shè)備，而這里說的5nm指的是用于5nm工藝的等離子蝕刻機。
據(jù)介紹，等離子體刻蝕機是芯片制造中的一種關(guān)鍵設(shè)備，用來在芯片上進行微觀雕刻，每個線條和深孔的加工精度都是頭發(fā)絲直徑的幾千分之一到上萬分之一，精度控制要求非常高。
半導體工藝的技術(shù)水平是由光刻機決定的，所以中微半導體做5nm蝕刻機并不等于能做5nm光刻，但是這個領(lǐng)域的進展依然意義重大，先進的蝕刻機售價也要數(shù)百萬美元，而且一條生產(chǎn)線要使用很多臺蝕刻機，總價值依然不可小覷。
根據(jù)中微半導體的2019年上半年財報，該公司1-6月實現(xiàn)營收8.01億元，同比增長72.03%；歸屬于上市公司股東的凈利潤3037.11萬元，與上年同期相比扭虧為盈。
責任編輯：向太陽
特別申明：
1、本文只代表作者個人觀點，不代表本站觀點，僅供大家學習參考；
2、本站屬于非營利性網(wǎng)站，如涉及版權(quán)和名譽問題，請及時與本站聯(lián)系，我們將及時做相應(yīng)處理；
3、歡迎各位網(wǎng)友光臨閱覽，文明上網(wǎng)，依法守規(guī)，IP可查。
內(nèi)容 相關(guān)信息
中微半導體CEO尹志堯：國產(chǎn)5nm蝕刻機已獲臺積電認可
2019-12-13? 昆侖專題 ?
? 十九大報告深度談 ?
? 新征程 新任務(wù) 新前景 ?
? 習近平治國理政 理論與實踐 ?
? 我為中國夢獻一策 ?
? 國資國企改革 ?
? 雄安新區(qū)建設(shè) ?
? 黨要管黨 從嚴治黨 ?
熱點排行
4年之后，回頭再看柴靜的真面目
建言點贊
做好意識形態(tài)工作既要有斗爭意識又要有斗爭藝術(shù)
? 社會調(diào)查 ?
圖片新聞
