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阿斯麥光刻設備技術服務（無錫）基地項目簽約儀式現場（余磊 攝）

5月14日，從江蘇省無錫市傳出一條消息：當天，無錫高新區管委會與阿斯麥（ASML）公司正式簽署了戰略合作協議，后者將在原有基礎上對資源進行整合提升，加速擴建光刻設備技術服務（無錫）基地。

記者了解到，這是阿斯麥與無錫第二次“握手”。2006年，阿斯麥公司在無錫布局建立光刻設備技術服務基地，經過多年的“深耕細作”，如今，阿斯麥無錫基地是中國規模最大的光刻設備技術服務基地，成為華虹、SK海力士等一批重點集成電路企業光刻機的供應商。

那么，此次阿斯麥實施（無錫）基地升級擴建，到底有著怎樣的計劃和目的？對于我國集成電路產業基地，又將會帶來哪些新變化？

項目擴建

有著非同一般的重要意義

江蘇省半導體行業協會相關人士告訴記者，光刻設備是發展集成電路產業的重要核心。總部位于荷蘭的阿斯麥，是全球芯片制造設備領導廠商，并且是芯片光刻技術的領導者。幾十年來，阿斯麥憑借在光刻機制造領域成熟的先進技術優勢，壟斷了光刻機市場 。

尤其近10年來，隨著國際集成電路產業的快速發展，國際上許多國家由于缺乏光刻設備關鍵性技術，都只能從荷蘭進口光刻機。目前，在光刻機領域，我國集成電路生產企業仍需通過進口來滿足產業發展的迫切需求。

無錫成功引入的阿斯麥光刻設備技術服務（無錫）基地，重點涵蓋兩大業務板塊：面積約2000余平米，擁有近200人規模專業團隊的技術中心，從事光刻設備的維護、升級等技術服務，面積約2000余平米的供應鏈服務中心，為客戶提供高效的供應鏈服務，為設備安裝，升級及生產運營等所需的物料提供更高水準的物流支持。

項目建成后，將進一步提高服務能力，更好地滿足當地集成電路產業的發展需求，幫助客戶在持續提升芯片價值的同時降低制造成本。

在一些業內人士看來，目前，我國集成電路產業正處于一個非常時期。阿斯麥光刻設備技術服務（無錫）基地的引入與此時擴建，有著非同一般的重要意義。

強強合作

加速補上我國產業“短板”

無錫市政府相關領導介紹，江蘇省無錫是我國政府最早布局的集成電路產業基地之一，也是我國集成電路產業發展的一個縮影。近年來，在國家和地方政策的重點支持下，無錫先后引入華虹基地、海力士二工廠等一批重大產業項目。去年，全市集成電路產業產值達到1178億元，增長8.3%，位居全省第一、全國第二。

目前，盡管無錫集成電路產業在國內起步早，并形成了一定的產業規模，但在集成電路產業的上游，無論是光刻設備，還是集成電路設計和高端電子化學品方面，仍是一條“短腿”，亟待補齊產業鏈，提升產業自主創新力和國際競爭力。

“光刻設備服務基地升級將強化我們和客戶的協作，快速回應客戶需求，不斷提升對客戶服務的水準。” 阿斯麥全球副總裁、中國區總裁沈波說，我們期待與半導體產業的合作伙伴一起，開發更多智能科技，應用到惠及民生的各行各業。

“我們提供創新的產品和服務來幫助芯片制造商不斷微縮芯片。”沈波說，我們不斷提高產品的性能，以幫助客戶持續提升芯片價值并降低成本。致力于讓芯片的性能更強大、價格更合理，進而促使半導體技術能更廣泛的應用于醫療、能源、通訊和娛樂等相關產品與服務中。

無錫市政府副市長、高新區黨工委書記蔣敏認為，無錫有良好的產業基礎，阿斯麥有著核心技術，通過雙方強強合作，加速推進阿斯麥光刻設備基地擴建項目 ，將有助于加速無錫集成電路產業的強鏈、補鏈和延鏈，更加推動我國集成電路產業向總部化、高端化發展。

來源：科技日報 文中圖片由作者提供  余磊 科技日報記者 過國忠