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四十年兩場“芯片戰爭”，ASML怎么從獵人變成獵物

點擊：  作者：青嵐    來源：科工力量微信號  發布時間:2024-07-16 14:02:53

 

 

“這種討論不是基于事實或數據，而是基于意識形態……如果意識形態直接影響到這一點（我們的商業伙伴利益），我會對此感到不滿”。

 

“我們建議政府建立自己的工廠。因為不可能讓中國的生產變得更加困難，而不自己創造替代方案......阻止別人生產你需要的東西是沒有意義的”。

 

連日來，ASML前后兩任CEO溫寧克（Peter Wennink）和福凱（Christophe Fouquet）公開批評對華半導體技術管制，清晰傳遞出這家光刻機巨頭面對產業“大環境”的無奈與不甘。

 

與此同時，一手塑造著“大環境”的美國官方，卻仍在興致勃勃地合縱連橫，醞釀更多制裁措施，試圖將這張出口管制羅網編制得更加細密。在近期一次采訪中，美國商務部長雷蒙多（Gina Raimondo）明確宣告：“他們（中國）不可以擁有我們最先進的AI芯片或者制造設備......我們會持續更新監管以確保美國的安全”。（They cannot have our most sophisticated leading-edge AI chip,or the equipment that makes those chips）

 

一面是變本加厲的長臂管轄，一面是如火如荼的中國市場需求，在鋼絲上苦苦尋找平衡的“光刻巨人”，恐怕還需要忍受很長一段時間，直到始作俑者夢醒時分。 

 

01. 我們在聽著，杰瑞

 

ASML不會想到，今時今日正中眉心的子彈，與四十年前的自己也有著深遠的聯系。

 

1985年，這家初出茅廬的荷蘭小公司，正在為如何打入美國市場而焦慮，盡管對自己的研發能力頗具信心，但在極其講究“眼見為實、做熟不做生”的半導體設備市場，ASML面臨著許多和今天中國同行相似的煩惱：沒有出貨實績難以打動客戶，沒有客戶反饋又無法迭代產品，有限的起步資金則隨著公司運營快速消耗。

 

幸運的是，驟然升溫的美日“半導體戰爭”，為ASML帶來了穿越死亡之谷的機會。這一年，AMD創始人杰瑞·桑德斯在某行業會議上火力全開，對美國國產半導體設備質量大加抨擊，警告稱物美價廉的日本光刻機將橫掃市場。

 

桑德斯的“暴論”，立即引起了ASML美國營銷主管查克·羅伯茨注意，隨著美日半導體產業競爭被日益注入意識形態色彩，純正的西歐“血統”，無意間為ASML開拓美國市場帶來了獨特優勢。羅伯茨興奮地表示：“桑德斯把GCA和Perkin-Elmer（兩大美國光刻機廠商）罵得狗血淋頭，他又不想被迫購買日本貨，這就是我們的機會！”

 

意識到這一點的ASML，迅速在行業媒體投放了一輪定向廣告，標題為《我們在聽著，杰瑞》，內容則是逐條介紹其產品與桑德斯訴求的契合。

 

 

（桑德斯的姿態，很大程度上源于AMD此時的經營困境，以至于業界預計其很快將會與國家半導體一樣被收購）

 

這篇廣告，成為ASML打進AMD供應鏈的第一塊敲門磚，經過商務談判和樣機比選的一次次考驗，甚至使出半夜翻墻潛入客戶工廠搶修的奇招，ASML最終贏得了AMD批量訂單，拿下第一個重量級客戶。這一突破，也標志著其在光刻機市場初步站穩腳跟，度過了最為脆弱的草創階段。

 

主動迎合美國市場需求，就此成為ASML早期發展的一條主線，這份殷勤也為其帶來了豐厚回報，從接盤SVG進而撬動英特爾訂單，到加入EUVL、收購Cymer、“絕殺”尼康專利侵權訴訟，無不與美國提供的“方便”息息相關，也均成為ASML發展史上的關鍵助推。

 

不過經歷次貸危機洗禮后，隨著全球半導體產業重心向東北亞加速轉移，ASML與美國合作伙伴之間逐漸出現了意味深長的地位逆轉，其樂于俯首傾聽的大客戶，也悄然換成了東亞面孔。

 

2012年，為徹底解決EUV光源開發問題，完成對Cymer公司收購，ASML發起了所謂的客戶共同投資計劃，向英特爾、三星與臺積電定向增發融資，其中英特爾認購股數獨占鰲頭，超過了三星、臺積電總和。為這批沒有投票權的股票砸下真金白銀，足見英特爾“誠意”。更重要的是，英特爾此舉還對業界釋放了堅定站隊的信號，徹底熄滅了尼康等日本廠商堅持跟進EUV光刻機的信心。

 

然而2013年7月，在ASML策劃下舉行的晶圓制造“三巨頭”會議，卻宣告了英特爾力推的18英寸技術突然死亡，成為半導體產業主導權“東升西降”的標志性事件。當時沮喪退場的英特爾老將比爾·霍特（Bill Holt），心中或許對ASML也會生出一絲“來騙、來偷襲”的感慨。

 

自認為已羽翼豐滿的ASML，最終還是沒能掙脫束縛自由的枷鎖。

 

2020年以來，在馬瑟尼（Jason Matheny）、查布拉（Tarun Chhabra）、可汗（Saif Khan）等與硅谷“長期主義者”圈子淵源深厚的“師爺”操縱下，一場新瓶裝舊酒的中美“芯片戰爭”已被成功挑動，全球化黃金時代無往不利的弄潮兒們，驀然發現自由貿易的游戲規則已被制定者拋棄。

 

從“半導體戰爭”到“芯片戰爭”，四十年輪回間，家大業大的ASML已不再是趁手的飛刀，而是成為獵物本身。

 

當然，美式“市場經濟”看得見的大手也同樣沒有放過三星和臺積電，為了滿足“伙伴”的胃口，兩大代工巨頭在美規劃的5納米以下高端芯片產能已接近每月10萬片。

 

這一數字，本身就宣示著赤裸裸的“刨根”陽謀。

 

一個反直覺的事實是，在目前全球半導體制造業合計約每年1億片12英寸晶圓（折算數）的產能中，需要用到EUV光刻機的5納米以下節點邏輯芯片，占比僅為1%左右，并且在可預見的未來，這個比例并不會有數量級的變化。

 

在“緊平衡”的高端產能供給格局中，臺積電得以從容調控定價，享受半導體制造這塊蛋糕上最肥美的奶油，然而隨著足以承接全部需求的美國新增產能成形，卻必然將擊碎這一格局，臺積電與高端客戶間的議價能力將出現逆轉。

 

面對這樣的險境，兩大東亞代工巨頭卻甚至連ASML式的抱怨也不敢聲張。

 

 

02. 寶路華的隱喻

 

盡管已經把產業鏈“卡脖子”節點（chokepoint）整肅一新，但試圖對中國復制當年“半導體戰爭”的輝煌勝利，注定只是美國朝野一場春夢。

 

在半導體領域，美國所設定的“芯片戰爭”目標與其能力間存在著深刻脫節，一言以蔽之，這場強加的“戰爭”，既擋不住中國半導體產業發展，也成就不了美國高端制造業復興的幻想。

 

誠然，長臂管轄干擾了中國先進制程工藝發展節奏，從美國官方到各國媒體，也普遍將“中國落后幾代制程”、“EUV什么時候突破”、“EUV差距多少年”等議題作為討論的核心。然而正如前文所述，這樣的討論存在著巨大盲點，高端芯片的極低產能占比，意味著與其在這道“附加題”上苦苦較勁，還有很多更重要、更緊急的“基礎題”需要答好。

 

客觀來看，經歷狂風暴雨洗刷，中國半導體產業生態發育已大為改觀，從設備材料到特色工藝、產品品類，越來越多空白點得到填補，海外廠商近年來“拱手相讓”的優質客戶，為本土供應商提供了以往不敢想象的導入機會，生態網絡的橫向、縱向聯系顯著加深。

 

中國集成電路創新聯盟秘書長葉甜春，近期就分享過這樣一組半導體材料國產化進展：

 

12英寸45-28納米工藝用材料品種覆蓋率超過70%；先進存儲工藝用材料品種覆蓋率超過75%；

 

大硅片產品取得全面突破，實現對國內FAB廠主要工藝的全覆蓋；

 

光刻膠取得突破性進展，i線膠市占率超過20%，KrF膠市占率達10%，ArF干式膠開始批量應用，部分品種ArFi浸沒式膠開始小批量應用；

 

濺射靶材實現對國內FAB廠的全面供應，部分產品國際市場占有率超過40%；

 

本土企業已成為CMP拋光材料、特種電子氣體、工藝化學品的主力供應商；

 

傳統封裝用主要材料實現自主供應......

 

先進制程這顆大樹之外，中國半導體產業的整片森林已大為繁茂。

 

當然，我們還遠未到可以彈冠相慶的時候，縱觀7納米及以上制程產業生態，各節點從無到有、從有到優的進程還任重道遠，但無論如何，從資源到應用，主動權已牢牢掌握在中國人自己手中，半導體產業不屈不撓的努力，必將穩步地達到自己的目的。

 

至于先進制程的追趕，一方面，我們的確需要正視其難度，少一些喋喋不休的“雞血”，以EUV光刻機為例，其LPP光源就涉及到激光器和錫液滴發生器、收集鏡三大工程挑戰，ASML旗下Cymer的突破，相當程度上受益于LLNL等美國國家實驗室在慣性約束聚變上的知識積累，這也是美國對ASML長臂管轄的底氣所在，而中國工程團隊想要借鑒現有系統框架，則面臨著氣體激光器研究人才斷檔等一系列現實問題。

 

但另一方面看，即便獲得蔡司、通快（Trumpf）等核心供應商全力支持，ASML從啟動EUV光刻研究到向大生產線交付產品，也歷經了整整二十年磨難，然而LPP-EUV可供挖掘的技術潛力，卻未必能支持后來者有同樣的二十年時間打磨迭代。強行拉升數值孔徑的Hyper-NA EUV，面臨焦深過小和掩膜三維效應等多重制約，光刻技術體系的又一次大變局或許將在追趕的中途發生。

 

 

目前從IRDS路線圖更新看，自由電子激光（FEL）或許最有希望成為下一代6.X納米光刻光源的基礎，而在這個少有公眾關注的領域，中國研究者的創新能力并不遜色于歐美同行。

 

我們在這條潛在賽道上的競爭力，不僅體現在FEL大裝置規格和數量上，2021年，中國科學院上海光學精密機械研究所強場激光物理國家重點實驗室，更是在基于激光加速器的小型化自由電子激光研究上取得突破性進展，率先完成臺式化自由電子激光原理實驗驗證，確立了我國在該領域的全球領跑地位。

 

 

（領跑全球的我國小型化FEL技術）

 

總之，面對橫亙在光刻極限前的道道難關，我們的攻堅不僅需要埋頭苦干，更呼喚著因地制宜、因時制宜的“巧干”。

至于“芯片戰爭”的另一大目的，即帶動高端制造業復興，美國商務部長雷蒙多對此有一段直白的解說：“我們將讓制造硬件再次變得性感起來。在美國制造硬件，獲得一份體面、光鮮、高薪的工作不好么？我們所有人將共同重建我們的工業基礎，增強美國的創新能力，創造數十萬個高薪工作”。

 

雷蒙多的夢想，源于其兒時經歷，在那段被她講述過許多遍的故事里，制表商寶路華（Bulova）把工廠搬去中國，生生摧毀了制表工人們聚居的社區。

 

她所提到的寶路華，曾在石英表技術發展史上做出過奠基性貢獻，然而就是這樣一家掌握獨門技術的企業，反而在產業化上逐漸掉隊，最終在所謂“石英危機”中被迫變賣。

 

細究寶路華的歷史，擊倒它的其實不是來自中國或者日本的競爭，而恰恰是懷念著舊日好時光的美國人自己，“高薪工作”與制造業成本體系的剛性下降趨勢之間，存在著難以調和的內在張力。

 

寶路華，正是美國制造業命運的一個隱喻。

 

03. 收收味吧，反思怪們

 

對于ASML和其他半導體產業界言辭懇切的呼吁，在中文輿論場上卻始終回蕩著一種難以理解的聲音，為野蠻粗暴的美式管制歡呼叫好，話里話外暗示中國企業的遭遇是有錯在先，從而招致“文明世界”被迫回擊，“為啥不欺負別人只欺負你”的鄉愿式解讀大行其道。

 

在點化群氓、深刻反思之前，這些洞悉天下事的“文化人”，大有必要先對自己的“精神祖國”補上一些通識。

 

上世紀八十年代曠日持久的美日貿易戰、技術戰里，美國人早已展示過“文明世界”的底色。

 

1982年，一位年輕華裔技術員陳果仁之死震驚全美，僅僅因幾句口角，兩名素昧平生的底特律汽車工人就用棒球棍將他毆打致死，被誤認成日本人的陳果仁，不幸成為兇手對日本汽車工業仇恨的發泄對象。

 

事后，美國法官判處兇手三年緩刑和3000美元罰款，判詞中理直氣壯地寫道：“你不能讓懲罰與罪行相稱，你應該讓懲罰與罪犯（品行）相稱”。

 

同樣在這一時期，被不斷打磨塑造的“日本威脅論”，激發不少小鎮商店主掛出了“日本人禁止入內”（No Japs Allowed）的標牌；一家俄亥俄州小診所為員工購買美國國產品牌汽車提供400美元補貼，“Buy American”運動隨即風靡一時，從理發到加油，開國產車的顧客總能得到打折待遇，甚至交通違章，也能因法官的“同情分”而獲寬宥；洛杉磯地鐵試圖采購日本制造的車組，則引起了潮水般的電話“網暴”......

 

對這樣的海量“個案”，某些國內文人大概是不敢將之扣上“義和團”大帽的。

 

 

相比這種基層涌動的“民氣”，美國精英階層的表現同樣令人印象深刻。

 

勞聯-產聯負責人柯克蘭（Lane Kirkland）毫不遮掩地表示：“聽到日本人懇求自由貿易，就像是從妓女的嘴里聽到‘愛’這個詞一樣”；眾議院大佬布魯克斯（Jack Brooks）直言，杜魯門只向日本投下兩顆核彈是一個遺憾，“他本應該投四顆”，更多國會議員則在考慮對所有日本進口商品征收25%的關稅；在經濟界，知名學者勞倫斯·薩默斯承認“現在認為日本對美國的威脅比蘇聯更大的多數美國人可能是正確的”，《哈佛商業評論》主編艾倫·韋伯總結稱：“與日本的冷和平正在取代與蘇聯的冷戰”。

 

在輿論場上，彼時的新銳華盛頓智囊們，給曼斯菲爾德等老一代國別研究專家戴上了“菊花親吻者”（Chrysanthemum Kisser）的頭銜，時而渲染“數百名華盛頓精英正領取日本津貼”的驚悚故事，時而描繪與貿易對手之間即將到來的軍事沖突。

 

當然，說到筆下千鈞的功力，還得看傳奇記者白修德（Theodore White）。

 

在其發表于1985年的經典報道《來自日本的危險》中，白修德寥寥幾筆就勾勒出日本半導體產業的舊賬與新仇：“今年，通產省的主要目標顯然是美國電子行業。去年美國對日電子貿易逆差超過了汽車貿易逆差，達到154億美元。美國半導體行業正遭受攻擊。日本人毫不留情地提出要抹殺美國在該行業的霸主地位，而這種優勢正是基于我們自己的研究和發明。日立現在是電子產品出口商，在二戰的最后兩周，作為日本領先的武器制造商之一，它被我們的轟炸機炸成了碎片。但日立現在正在反擊，其口氣再次變得咄咄逼人。該公司正試圖從英特爾和AMD手中奪走半導體市場”。

 

與此同時，白修德以驚人的坦率與冷峻，解剖了美利堅民族焦慮的根源：

 

“如果全世界所有人都享有同等的自由貿易權，那么那些工人感激微薄工資的國家可以征服美國等發達國家的市場，而美國工人要求的工資是世界上最高的。亞洲的生活水平必須提高，否則我們的水平就會下降，直到達到平衡......日本的后面是“四小龍”，中國和印度則緊隨其后，它們迫切希望提高生活水平—必要時，不惜犧牲美國人的生活水平......所有國家都想效仿日本，不惜犧牲美國的就業機會，良心不允許美國人排斥世界上那些努力改善自己生活的窮苦人，但常識不允許我們走一條以我們的貧困為代價讓他們改善生活的道路......日本人也享有同樣的和平，在我們的保護下，幾乎不用付出任何代價，卻保留了將美國人的生計逼入絕境的權利”。

 

正如白修德所袒露的，在某種美式思維里，美國式生活水平與后發國家工業化之間，就是存在著一根心照不宣的“高壓線”。

 

在當下改頭換面的“芯片戰爭”表演中，不難看到對冷戰末期腳本堪稱像素級的抄襲。只要我們一天沒有停下發展的腳步，像日本那樣沉淪在“失去的XX年”，美國朝野的歇斯底里恐怕就一天也不會停歇。

 

不過時移勢易，這樣的狹隘心理和霸道做法，在今天不僅無法阻擋中國科技自強之路，卻反而會堵住如ASML之流的“伙伴”發展空間，有朝一日美國夢醒時分，ASML的統治性地位，恐怕也將一去不復返。

 

文章來源于心智觀察所 ，作者青嵐