荷蘭ASML公司生產(chǎn)的EUV光刻機(jī),也許是生產(chǎn)芯片的主要設(shè)備,但生產(chǎn)芯片需要大量其他配套設(shè)備。(圖片Ksliu提供)2023年5月23日,日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省宣布,對(duì)23種芯片制造設(shè)備的出口實(shí)施限制措施,最快今年7月23日生效。管制范圍涵蓋了涉及半導(dǎo)體制造的6大類設(shè)備:①清洗設(shè)備:半導(dǎo)體前段工藝除去表面異物的清洗設(shè)備;②成膜設(shè)備:利用等離子旋轉(zhuǎn)晶圓,形成原子級(jí)別膜的設(shè)備,利用EUV光掩膜的成膜設(shè)備,準(zhǔn)確形成硅膜、硅化合物膜的設(shè)備;③熱處理設(shè)備:通過熱處理,除去薄膜內(nèi)空隙的設(shè)備;④曝光設(shè)備:EUV涂覆、顯影設(shè)備,防護(hù)板(EUV光掩膜方向)生產(chǎn)設(shè)備,ArF液浸式曝光設(shè)備;⑤蝕刻設(shè)備:具有立體結(jié)構(gòu)的最尖端蝕刻設(shè)備;⑥檢查設(shè)備:EUV光掩膜檢測(cè)設(shè)備。這一宣布,雖然沒有點(diǎn)名中國,卻明顯針對(duì)中國,因?yàn)橹袊琴徺I此類日本設(shè)備的最大客戶。此外,該出口管制并不適用于42個(gè)“友好國家”,而中國不在“友好國家”名單內(nèi)。中國商務(wù)部批評(píng),此舉是“對(duì)出口管制措施的濫用,是對(duì)自由貿(mào)易和國際經(jīng)貿(mào)規(guī)則的嚴(yán)重背離”,要求日本“立即糾正錯(cuò)誤做法”,中方“保留采取措施的權(quán)利”。日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)大臣西村康稔表示:日本希望阻止其先進(jìn)技術(shù)被用于軍事目的,并沒有考慮到具體的國家。世界上生產(chǎn)芯片制造設(shè)備的,主要是三個(gè)國家:美國、日本、荷蘭。這三個(gè)國家在美國牽頭和要求下,都對(duì)芯片制造設(shè)備的出口進(jìn)行了嚴(yán)格的管制。荷蘭方面宣布的管制,主要是最先進(jìn)芯片制程用的極紫光科機(jī)。美國方面宣布的管制,主要涉及14、16納米或更精密的芯片制程。此次日本方面宣布的管制,涵蓋浸潤式微影(Immersion Lithography)器材,用于更基礎(chǔ)的45納米制程。英國《金融時(shí)報(bào)》23日?qǐng)?bào)道指出,中國半導(dǎo)體業(yè)者擔(dān)心日本的出口管制范圍廣泛,可能連汽車、洗衣機(jī)用的較低級(jí)芯片生產(chǎn)都會(huì)受到?jīng)_擊。業(yè)內(nèi)人士指出,日本宣布的出口管制比美國“更嚴(yán)格”。廣島七國峰會(huì)宣布不會(huì)和中國脫鉤,但是美國等西方國家對(duì)中國進(jìn)行的“高科技脫鉤、封鎖、圍堵”之勢(shì)已經(jīng)越來越明顯。日本在芯片制造設(shè)備和原材料等方面雖然具有優(yōu)勢(shì),但在芯片制造方面卻相對(duì)落后。廣島峰會(huì)期間,日本首相岸田文雄會(huì)見了全球半導(dǎo)體巨頭的高管,希望他們到日本投資,強(qiáng)化日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競爭力。英特爾(Intel)執(zhí)行長格爾辛格、臺(tái)積電(TSMC)董事長劉德音,以及三星(Samsung)、美光(Micron)、IBM、應(yīng)用材料(Applied Materials)等企業(yè)高層皆有到場(chǎng)。臺(tái)積電已經(jīng)在日本進(jìn)行大規(guī)模投資,剛被中國制裁的美光也宣布將在日本投資36億美元生產(chǎn)存儲(chǔ)芯片。
(作者:Ksliu,美國知名時(shí)事評(píng)論員;供稿者:肖志夫,昆侖策研究院特約研究員;來源:昆侖策網(wǎng)【授權(quán)編發(fā)】,修訂發(fā)布)
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